P83.X一維X向壓電宏微復合臺 $nP83為標準測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷機構相結合，通過(guò)手動(dòng)調節大范圍的測微頭實(shí)現13mm大范圍的移動(dòng)，再通過(guò)控制驅動(dòng)電壓，使壓電陶瓷機構相應伸長(cháng)或縮短到預定位置，從而實(shí)現對壓電陶瓷驅動(dòng)測微頭高分辨率的精調節。《查看更多》

P84.X一維X軸壓電宏微復合臺： P84為標準測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷機構相結合，通過(guò)手動(dòng)調節大范圍的測微頭實(shí)現13mm大范圍的移動(dòng)，再通過(guò)控制驅動(dòng)電壓，使壓電陶瓷機構相應伸長(cháng)或縮短到預定位置，從而實(shí)現對壓電陶瓷驅動(dòng)測微頭高分辨率的精調節。《查看更多》

壓電平臺是采用壓電陶瓷驅動(dòng)的納米定位臺，無(wú)摩擦、無(wú)空回柔性導向機構，有限元分析優(yōu)化柔性鉸鏈機構，柔性導向系統具有超高的導向精度，高剛度，高負載，無(wú)磨損，免維護的特點(diǎn)，內置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，確保了平臺具有良好的控制精度、定位精度、分辨率和穩定性，響應速度快，穩定時(shí)間達毫秒量級，平臺無(wú)磁性也不受磁場(chǎng)干擾。XP-630，采用壓電陶瓷直驅結構，無(wú)摩擦柔性鉸鏈機構設計的一維壓《查看更多》