芯明天直驅機構式壓電納米定位臺特性

1~3維自由組合

大行程68μm

大承載5kg

重復定位精度可達0.05%F.S.

亞毫秒響應時(shí)間

1-3維平移臺

XP-63X系列壓電納米定位臺可以通過(guò)疊加的方式組成XY，XZ，XYZ多種運動(dòng)結構。多種規格型號可選。
柔性鉸鏈采用精密線(xiàn)切割技術(shù)。

體積小、剛度大、響應速度快、閉環(huán)精度高

XP-63X系列壓電納米定位臺特殊的結構設計，具有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點(diǎn)。負載情況下也具有很高的使用頻率，響應時(shí)間可以實(shí)現亞毫秒級。例如XP-630帶動(dòng)20g負載，響應時(shí)間僅為5ms。

XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧，XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm，易于與其他平臺設備集成。閉環(huán)版本配置應變傳感器，可實(shí)時(shí)檢測位置信號并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過(guò)PID算法對檢測到的位置信號進(jìn)行修正，從而實(shí)現納米級的精密定位。

閉環(huán)版本配置應變傳感器，可實(shí)時(shí)檢測位置信號并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過(guò) PID 算法對檢測到的位置信號進(jìn)行修正，從而實(shí)現納米級的精密定位。

芯明天直驅機構式壓電納米定位臺應用實(shí)例

采用XP-633壓電納米定位臺帶動(dòng)探針作精密位移定位檢測控制，從而完成1mN的精確力控制實(shí)驗。