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    產(chǎn)品名稱(chēng):芯明天直驅機構式壓電納米定位臺

    產(chǎn)品型號:XP-63X

    產(chǎn)品報價(jià):

    產(chǎn)品特點(diǎn):芯明天直驅機構式壓電納米定位臺 XP-63X壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅X軸運動(dòng)定位臺,內置高可靠性壓電陶瓷,采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構,具有剛度大、分辨率高、響應速度快等特點(diǎn),可以通過(guò)自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。

    更新日期:2021-10-15

    XP-63X芯明天直驅機構式壓電納米定位臺的詳細資料:

    芯明天直驅機構式壓電納米定位臺特性

    1~3維自由組合

    大行程68μm

    大承載5kg

    重復定位精度可達0.05%F.S.

    亞毫秒響應時(shí)間


    1-3維平移臺

    XP-63X系列壓電納米定位臺可以通過(guò)疊加的方式組成XY,XZ,XYZ多種運動(dòng)結構。多種規格型號可選。
    柔性鉸鏈采用精密線(xiàn)切割技術(shù)。


    體積小、剛度大、響應速度快、閉環(huán)精度高

    XP-63X系列壓電納米定位臺特殊的結構設計,具有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點(diǎn)。負載情況下也具有很高的使用頻率,響應時(shí)間可以實(shí)現亞毫秒級。例如XP-630帶動(dòng)20g負載,響應時(shí)間僅為5ms。

    XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧,XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm,易于與其他平臺設備集成。閉環(huán)版本配置應變傳感器,可實(shí)時(shí)檢測位置信號并反饋給閉環(huán)控制器,控制器通過(guò)PID算法對檢測到的位置信號進(jìn)行修正,從而實(shí)現納米級的精密定位。

    閉環(huán)版本配置應變傳感器,可實(shí)時(shí)檢測位置信號并反饋給閉環(huán)控制器,控制器通過(guò) PID 算法對檢測到的位置信號進(jìn)行修正,從而實(shí)現納米級的精密定位。


    芯明天直驅機構式壓電納米定位臺應用實(shí)例

    采用XP-633壓電納米定位臺帶動(dòng)探針作精密位移定位檢測控制,從而完成1mN的精確力控制實(shí)驗。


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