芯明天直驅機構式壓電納米定位臺 XP-63X壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅X軸運動(dòng)定位臺，內置高可靠性壓電陶瓷，采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構，具有剛度大、分辨率高、響應速度快等特點(diǎn)，可以通過(guò)自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。《查看更多》

XP-62X系列壓電納米定位臺是采用封裝型壓電促動(dòng)器直接驅動(dòng)，具有大承載、響應速度快、可靠性高和使用壽命長(cháng)等優(yōu)點(diǎn)。內置高分辨率SGS傳感器進(jìn)行全閉環(huán)運動(dòng)控制，高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺適用于精密加工等領(lǐng)域。《查看更多》

P63芯明天壓電納米定位臺直驅機構式 為小體積1~3維壓電定位臺，平臺內部采用無(wú)摩擦、無(wú)空回的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優(yōu)化，柔性導向系統具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無(wú)摩擦、免維護等特點(diǎn)。壓電定位臺具有良好的控制精度，分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時(shí)間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響，壓電平臺體積小、結構緊湊易于集成。《查看更多》

芯明天直驅機構式壓電納米定位臺位移行程可達100μm，該型號產(chǎn)品體積小巧，結構緊湊，壓電驅動(dòng)、無(wú)摩擦、柔性導向系統，實(shí)現納米級分辨率和毫秒的響應時(shí)間。《查看更多》