芯明天放大機構式壓電納米定位臺特性

2~3維運動(dòng)

位移行程40μm

體積小巧

亞毫秒響應時(shí)間

二、三維平移臺

P13壓電納米定位臺，包括二維XY軸、三維XYZ軸兩個(gè)規格型號。

芯明天放大機構式壓電納米定位臺閉環(huán)階躍穩定時(shí)間圖

P13.XY閉環(huán)版本40μm行程的穩定時(shí)間約為30ms。

超小體積、無(wú)機械間隙、高分辨率

固態(tài)鉸鏈平行四邊形設計原理，平行運動(dòng)無(wú)機械間隙，該結構原理使其具有非常高的分辨率，運動(dòng)直
線(xiàn)性好。
P13系列壓電納米定位臺可以很容易的安裝到其他的定位系統并且可以配置傳感測量裝置（應變計傳
感器）消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。P13壓電平移臺適用于動(dòng)態(tài)使用，是掃描應用的理想選擇。

P13 系列壓電納米定位臺為二維 XY、三維 XYZ 壓電平臺，臺體采用平行運動(dòng)學(xué)機構放大設計原理，內置高性能壓電陶瓷，大位移為 37.5μm/ 軸。開(kāi)環(huán)閉環(huán)版本可供選擇。產(chǎn)品主要應用于光學(xué)顯微、生物科技等領(lǐng)域。

超小體積、無(wú)機械間隙、高分辨率

固態(tài)鉸鏈平行四邊形設計原理，平行運動(dòng)無(wú)機械間隙，該結構原理使其具有非常高的分辨率，運動(dòng)直線(xiàn)性好。
P13 系列壓電納米定位臺可以很容易的安裝到其他的定位系統并且可以配置傳感測量裝置（應變計傳感器）消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。
P13 壓電平移臺適用于動(dòng)態(tài)使用，是掃描應用的理想選擇。