• 歡迎來(lái)哈爾濱芯明天科技有限公司!我們將為您提供到位的服務(wù)!
    首頁(yè) > 技術(shù)文章 > 芯明天壓電納米探針臺

    芯明天壓電納米探針臺

    更新時(shí)間: 2024-05-21

    芯明天壓電納米探針臺主要由壓電陶瓷作為驅動(dòng)的壓電馬達和探針組成,在新材料、新能源、半導體、生物醫藥、基礎科研等前沿領(lǐng)域中具有廣泛的應用,主要作用是完成納米級別物性測量以及納米級別運動(dòng)操作,可在三維空間上實(shí)現精準定位。隨著(zhù)分析儀器技術(shù)的高端化發(fā)展,以及不斷拓寬的應用場(chǎng)景,壓電納米探針臺成為了分析儀器的重要組成部分。

    芯明天壓電納米探針臺的運動(dòng)形式是多樣化的,可任意選擇納米探針臺的運動(dòng)維度、運動(dòng)方向、運動(dòng)范圍、運動(dòng)精度、探針模組數量、探針夾具類(lèi)型等。本次介紹一款具有中心探針平臺并搭配4個(gè)探針模組的納米探針臺系統。

    芯明天壓電納米探針臺

     

    芯明天壓電納米探針臺

    此款芯明天壓電納米探針臺具有中心探針臺,并搭配4個(gè)納米探針臺模組。產(chǎn)品外觀(guān)如下圖所示。

     

    芯明天壓電納米探針臺

     

     

    中心探針臺,可進(jìn)行XYZ三軸運動(dòng),XY向運動(dòng)行程≥20mm,Z向運動(dòng)行程≥20μm,可在低溫真空環(huán)境下使用,使用溫度范圍在0℃到60℃,使用真空度可達到10^-4Pa。四個(gè)探針模組可進(jìn)行XYZ直線(xiàn)及R旋轉運動(dòng),XY方向行程≥5mm,Z向行程≥0.5mm,探針的R向旋轉達180°。

    芯明天壓電納米探針臺

    產(chǎn)品特點(diǎn)

     

     

     

    每個(gè)探針擁有7個(gè)運動(dòng)維度

    毫米運動(dòng)與微米運動(dòng)相結合

    毫米行程達≥20mm

    高精度可達≤2nm

    使用溫度范圍達0℃到60℃

    真空環(huán)境使用條件達10^-4Pa,可定制

    運動(dòng)軸、行程、速度、外形尺寸、固定接口等可定制

     

    產(chǎn)品應用    

    半導體行業(yè)、電學(xué)性能測試分析、材料、新能源、物理學(xué)、生物醫學(xué)及其他等。 


    技術(shù)參數

    納米探針臺
    參數值
    運動(dòng)自由度
    X、Y、Z
    行程
    X、Y軸≥20mm,
    Z軸≥20μm
    速度
    10mm/s
    分辨率
    Z軸≤2nm
    納米探針模組
    參數值
    運動(dòng)自由度
    X、Y、Z三維直線(xiàn)及R軸旋轉
    行程
    X、Y軸≥5mm
    Z軸≥0.5mm
    R軸180°
    定位分辨率
    ≤100nm
    掃描分辨率
    ≤2nm
    工作環(huán)境
    參數值
    工作溫度
    0℃到60℃
    真空度
    10^-4Pa

     

    配套控制器        

     

    E53.D1E系列壓電控制器適用于驅動(dòng)芯明天壓電納米探針臺。它是單通道壓電控制器,采用數字控制,可閉環(huán)伺服或開(kāi)環(huán)控制,外觀(guān)體積非常小巧,尺寸僅為105×103×30.1mm^3,非常適配于尺寸緊湊的壓電納米探針臺。

    芯明天壓電納米探針臺

     

     

    更多詳情歡迎致電芯明天!

    全國統一客服電話(huà):

    17051647888

    地址:黑龍江省哈爾濱市南崗區學(xué)府路191號創(chuàng )業(yè)孵化產(chǎn)業(yè)園I2棟1層
    聯(lián)系人:楊先生
    手機號碼:17051647888
    固定電話(huà):0451-86268790

    哈爾濱芯明天科技有限公司(www.pigbut.com)主營(yíng):壓電促動(dòng)器,壓電移相器,壓電快反鏡,快速刀具定位器

    哈爾濱芯明天科技有限公司 版權所有  ICP備案號:黑ICP備16009173號-2 管理登陸 技術(shù)支持:儀表網(wǎng)  網(wǎng)站地圖