芯明天壓電納米探針臺主要由壓電陶瓷作為驅動(dòng)的壓電馬達和探針組成，在新材料、新能源、半導體、生物醫藥、基礎科研等前沿領(lǐng)域中具有廣泛的應用，主要作用是完成納米級別物性測量以及納米級別運動(dòng)操作，可在三維空間上實(shí)現精準定位。隨著(zhù)分析儀器技術(shù)的高端化發(fā)展，以及不斷拓寬的應用場(chǎng)景，壓電納米探針臺成為了分析儀器的重要組成部分。

芯明天壓電納米探針臺的運動(dòng)形式是多樣化的，可任意選擇納米探針臺的運動(dòng)維度、運動(dòng)方向、運動(dòng)范圍、運動(dòng)精度、探針模組數量、探針夾具類(lèi)型等。本次介紹一款具有中心探針平臺并搭配4個(gè)探針模組的納米探針臺系統。

中心探針臺，可進(jìn)行XYZ三軸運動(dòng)，XY向運動(dòng)行程≥20mm，Z向運動(dòng)行程≥20μm，可在低溫真空環(huán)境下使用，使用溫度范圍在0℃到60℃，使用真空度可達到10^-4Pa。四個(gè)探針模組可進(jìn)行XYZ直線(xiàn)及R旋轉運動(dòng)，XY方向行程≥5mm，Z向行程≥0.5mm，探針的R向旋轉達180°。

產(chǎn)品特點(diǎn)

每個(gè)探針擁有7個(gè)運動(dòng)維度

毫米運動(dòng)與微米運動(dòng)相結合

毫米行程達≥20mm

高精度可達≤2nm

使用溫度范圍達0℃到60℃

真空環(huán)境使用條件達10^-4Pa，可定制

運動(dòng)軸、行程、速度、外形尺寸、固定接口等可定制

產(chǎn)品應用    

半導體行業(yè)、電學(xué)性能測試分析、材料、新能源、物理學(xué)、生物醫學(xué)及其他等。 

技術(shù)參數

E53.D1E系列壓電控制器適用于驅動(dòng)芯明天壓電納米探針臺。它是單通道壓電控制器，采用數字控制，可閉環(huán)伺服或開(kāi)環(huán)控制，外觀(guān)體積非常小巧，尺寸僅為105×103×30.1mm^3，非常適配于尺寸緊湊的壓電納米探針臺。

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